發(fā)布時(shí)間:2025-11-19
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在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、光伏、新材料等高端制造領(lǐng)域,薄膜厚度的精確測量直接影響產(chǎn)品性能與良率。選擇合適的膜厚測量設(shè)備,已成為企業(yè)提升工藝控制能力、保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵一環(huán)。
在眾多膜厚測量解決方案中,岱美儀器(中國) 所代理的 Thetametrisis 系列膜厚測量儀,憑借其高精度、高穩(wěn)定性、多場景適配等優(yōu)勢,成為2025年值得優(yōu)先考慮的選擇。
Thetametrisis 膜厚儀采用白光反射光譜技術(shù),可對(duì)單層或多層薄膜進(jìn)行非接觸、無損測量,適用于從幾納米到幾百微米的厚度范圍,覆蓋絕大多數(shù)工業(yè)與科研場景。
測量精度可達(dá)±0.005μm(視型號(hào)而定)
重復(fù)性優(yōu)異,長期穩(wěn)定性強(qiáng)
支持動(dòng)態(tài)測量與實(shí)時(shí)分析
每分鐘最快可測量300點(diǎn)(8英寸晶圓)
支持自動(dòng)多點(diǎn)掃描與Mapping成像
可選配XY電動(dòng)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)檢測
內(nèi)置600多種預(yù)存材料數(shù)據(jù)庫
支持光學(xué)常數(shù)(n/k)分析、顏色坐標(biāo)計(jì)算等
軟件免費(fèi)更新,支持離線分析
| 型號(hào) | 主要特點(diǎn) | 適用場景 |
|---|---|---|
| FR-Scanner | 超高速掃描,支持大面積Mapping | 晶圓、平板顯示、光學(xué)鍍膜 |
| FR-Ultra | 專用于超厚層測量(最厚可達(dá)2mm) | 半導(dǎo)體厚膜、聚合物、研究實(shí)驗(yàn)室 |
| SF-3/TM-200/SF300(Otsuka聯(lián)合技術(shù)) | 分光干涉法,高再現(xiàn)性,適用于CMP工藝 | 晶圓厚度、樹脂類材料 |
作為Thetametrisis在中國大陸及東南亞地區(qū)的官方授權(quán)代理商,岱美儀器不僅提供設(shè)備,更提供全方位的技術(shù)支持與服務(wù)保障:
? 專業(yè)選型建議:根據(jù)您的工藝需求推薦最適配型號(hào)
? 本地化技術(shù)支持:80+工程師團(tuán)隊(duì),提供快速響應(yīng)與維修服務(wù)
? 培訓(xùn)與售后:定期組織海外培訓(xùn),提升本地工程師專業(yè)能力
? 多行業(yè)案例積累:服務(wù)半導(dǎo)體、光學(xué)、光伏、航空航天等多個(gè)領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:晶圓厚度、薄膜沉積后測量、CMP工藝監(jiān)控
光學(xué)鍍膜:鏡片、濾光片、AR/VR光學(xué)膜層測量
光伏電池:透明導(dǎo)電膜、鈍化層厚度測量
科研機(jī)構(gòu):材料研究、薄膜性能分析
航空航天:涂層厚度與均勻性檢測
如果您正在尋找一款精度高、速度快、服務(wù)有保障的膜厚測量設(shè)備,Thetametrisis 膜厚儀無疑是理想之選。尤其在與岱美儀器合作的過程中,您將獲得:
設(shè)備與工藝深度融合的技術(shù)支持
長期穩(wěn)定的服務(wù)與培訓(xùn)保障
覆蓋中國大陸與東南亞的本地化網(wǎng)絡(luò)
立即聯(lián)系岱美儀器,獲取專業(yè)膜厚測量解決方案:
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